微型傳感器是利用微機械加工技術制造的新型傳感器。相比于傳統傳感器元件,這一類別的傳感器憑借其質輕體小、靈敏可靠、易于集成等優良特性,成為推動傳感器不斷向微型和智能化發展的主要動力;同時也被各大制造商和用戶所青睞。
微型傳感器有以下五個發展趨勢:
1、無源化。
傳感器是將非電量轉換成電量的設備,電源是傳感器中不可或缺的重要部分,把太陽能或風能用芯片收集起來,轉換成傳感器所需的電源,無線傳感模塊和芯片的有效結合將會實現MEMS的無源化。
2、微型化。
大眾越來越青睞便攜式、可佩戴式迷你型設備,消費者需求小型化傳感器,集成技術和納米技術將推進微型傳感器的發展。
3、低成本。
傳感器往往有成千上萬的網絡節點數,控制不好單個網絡節點數的價格致使傳感器網絡成本很高。解決好網絡結點數并且實用化,助推傳感器網絡化。
4、安全性和抗干擾能力。
穩定性是衡量傳感器性能好壞的重要指標。
傳感器網絡和其他網絡一樣也會面臨安全威脅。怎樣利用最經濟合理的手段實現傳感器網絡安全,微型傳感器受到外界干擾時,還能穩定可靠的工作將是發展趨勢。
5、節點實現自診斷、自動配置。
由于傳感器網絡中節點數多,工作時當節點出現故障時,能夠迅速找到故障點并且不影響網絡的正常使用。將是MEMS 研究的方向。
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