壓力傳感器是一種可用于鋼鐵、化工等領域的壓力測量,配合壓力調節器可實現壓力自動控制。
擴散硅壓力傳感器是利用壓阻效應原理,通過混合擴散,沿單晶硅片上的特性晶向制成應變電阻,形成電橋。利用硅材料的彈性力學特性,在同一硅材料上進行各向異性微加工,制成集力敏和力電轉換檢測于一體的擴散硅傳感器。
擴散硅壓力傳感器的壓力直接作用于傳感器膜(不銹鋼或陶瓷),使膜產生與介質壓力成正比的微位移,傳感器的電阻值發生變化,用電子線檢測變化,轉換輸出相應壓力的標準測量信號。
1.適用于制造小量程變送器。
硅芯片的力敏電阻壓阻效應在零點附近的低范圍內沒有死區,壓力傳感器的范圍可以小到幾個KPA。
2.輸出靈敏度高。
硅應變電阻的靈敏度是金屬應變計的50~100倍,因此相應傳感器的靈敏度很高,一般范圍輸出約為100mv。因此,對接口電路沒有特殊要求,使用更方便。
3.精度高
由于傳感器的感覺。敏感轉換和檢測由同一部分實現,無中間轉換環節,重復性和延遲誤差小。由于單晶硅本身剛度大,變形小,保證了良好的線性。
4.由于工作單性變形低至微應變數量級,彈性芯片最大位移為亞微米數量級,無磨損、疲勞、老化,壽命長達1×103壓力循環,性能穩定,可靠性高。
5.由于硅的優異化學防腐性能,即使是非隔離的擴散硅壓力傳感器也能適應各種介質。
6.由于芯片采用集成工藝,且無傳動部件,體積小,重量輕。