傳統的傳感器件因其制作工藝與半導體IC 工藝不兼容，所以無論在性能、尺寸和成本上都不能與通過IC 技術制作的高速度、高密度、小體積和低成本的信號處理器件相適應，于是制約了整個系統的集成化、批量化和性能的充分發揮。
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微型傳感器不是傳統傳感器簡單的物理縮小的產物，而是以新的工作機制和物化效應，使用標準半導體工藝兼容的材料，通過MEMS 加工技術制備的新傳感器件，具有小型化、集成化的特點，可以較大地提高傳感器性能。在信號傳輸前就可放大信號，從而減少干擾和傳輸噪音，提高信噪比;在芯片上集成反饋線路和補償線路，可改善輸出的線性度和頻響特性，降低誤差，提高靈敏度。
具有陣列性。可以在一塊芯片上集成敏感元件、放大電路和補償線路。可以把多個相同的敏感元件集成在同一芯片上；具有良好的兼容性，便于與微電子器件集成與封裝。
利用成熟的硅微半導體工藝加工制造，可以批量生產，成本非常低廉。
